Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Fabrication of Blade type Tip using BeNi foil

베릴륨니켈 박판을 이용한 블레이드형 팁의 제작

  • Lee, Keun-Woo (Department of Electronic Information Engineering Soonchunhyang Univ) ;
  • Lee, Jong-Ha (Department of Electronic Information Engineering Soonchunhyang Univ) ;
  • Lee, Tae-Sung (Department of Electronic Information Engineering Soonchunhyang Univ) ;
  • Lee, Byung-Wook (Department of Electronic Information Engineering Soonchunhyang Univ) ;
  • Kim, Chang-Kyo (Department of Electronic Information Engineering Soonchunhyang Univ) ;
  • Lee, Jae-Hong (NADIS Co. Ltd.)
  • 이근우 (순천향대학교 전자정보공학부) ;
  • 이종하 (순천향대학교 전자정보공학부) ;
  • 이태성 (순천향대학교 전자정보공학부) ;
  • 이병욱 (순천향대학교 전자정보공학부) ;
  • 김창교 (순천향대학교 전자정보공학부) ;
  • 이재홍 ((주)나디스)
  • Published : 2007.06.21
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Abstract

LCD 패널의 전기전도에 대한 물량여부를 측정하기 위한 프르브 유니트의 핵심소자 중 하나인 블레이드 타입의 핀을 제작하는데 있어서 주 소재인 베릴륨니켈 박판의 식각 조건에 대하여 연구하였다. 사용된 베릴륨니켈 기판의 두께는 $20{\mu}m$이며, DFR을 이용하여 패터닝하였고 염화제이철 및 황산을 첨가한 용액을 이용하여 침전법으로 단면 식각을 실시하였다. 베릴륨니켈 박판은 2mol의 염화제이철에 1mol의 황산을 첨가한 용액으로 $40^{\circ}C$의 온도에서 식각하였을때 가장 빠른 식각을 보였으며, 그에 따라 식각된 면의 상태도 매우 깨끗하고 수직 가까운 식각면이 나타남을 알 수 있었다.

Keywords