Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2007.06a
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- Pages.95-96
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- 2007
The study for the crystallization of a-Si by using the Ni-solution
Ni-solution을 이용한 a-Si 결정화에 관한 연구
- Son, Hyuk-Joo (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Kim, Jae-Hong (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Lee, Jeoung-In (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Yi, Jun-Sin (Sungkyunkwan Univ.)
- Published : 2007.06.21
Abstract
유리 기판 상부에 버퍼 층을 형성 한 후 플라즈마 화학 기상 증착 법을 이용하여 비정질 실리콘을 증착하고 Ni-solution을 이용하여 앓게 Ni 코팅한다. 그 시료를 약