Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2007.06a
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- Pages.91-92
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- 2007
The characteristics of poly-Si(ELA) TFTs with various channel lengths
다양한 채널 길이에 따른 ELA를 이용한 poly-Si TFT의 특징
- Son, Hyuk-Joo (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Kim, Jae-Hong (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Lee, Jeoung-In (Sungkyunkwan Univ.) ;
- Yi, Jun-Sin (Sungkyunkwan Univ.)
- Published : 2007.06.21
Abstract
이 논문에서는 다양한 채널길이에 따른 n-채널 다결정 실리콘 TFT의 특징을 보고한다. Excimer laser annealing (ELA)를 이용한 다결정 실리콘은 디스플레이의 재료로써 줄은 특성을 갖는다. 유리기판 위에 buffered oxide 층을 올리고 ELA 처리를 하여 다결정 실리콘을 제작 하였다. 그 위에