Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Sintering and Dielectric Properties of LTCC Zero Shrinkage Substrate by Glass Infiltration

Glass Infiltration법에 의한 LTCC 무수축 기판의 소결특성 및 유전특성

  • You, Jung-Hun (Dept. of Materials Science and Engineering, Korea University) ;
  • Yeo, Dong-Hun (System Module Team, Fusion Technology Division, Korea Institute of Ceramic Eng. & Tech.) ;
  • Shin, Hyo-Soon (System Module Team, Fusion Technology Division, Korea Institute of Ceramic Eng. & Tech.) ;
  • Kim, Hyo-Tae (System Module Team, Fusion Technology Division, Korea Institute of Ceramic Eng. & Tech.) ;
  • Kim, Jong-Hee (System Module Team, Fusion Technology Division, Korea Institute of Ceramic Eng. & Tech.) ;
  • Yoon, Ho-Gyu (Dept. of Materials Science and Engineering, Korea University)
  • 유정훈 (고려대학교 신소재공학부) ;
  • 여동훈 (요업기술원 융복합기술본부 시스템모듈팀) ;
  • 신효순 (요업기술원 융복합기술본부 시스템모듈팀) ;
  • 김효태 (요업기술원 융복합기술본부 시스템모듈팀) ;
  • 김종희 (요업기술원 융복합기술본부 시스템모듈팀) ;
  • 윤호규 (고려대학교 신소재공학부)
  • Published : 2007.06.21
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Abstract

Glass infiltration 방법을 이용하여 '$A_2O_3$/Glass/$Al_2O_3$' 구조의 무수축 LTCC 기판을 제조하였다. Glass infiltration 법에 의한 무수축 기판 제조에 있어 가장 중요한 요소로는 Glass의 점성은 낮고, alumina에 대한 Glass의 젖음성 (wettability)이 좋으며. 낮은 반응성이 요구되기 때문에 Glass의 조성 선정이 무엇보다 중요하다. 본 연구에서는 Na, Pb, Mg 계열의 각기 다른 glass들의 alumina에 대한 젖음성을 평가하여 젖음성 및 치밀성이 우수한 Pb 계열의 Glass를 이용하여 LTCC 기판으로 적용 가능한 온도인 $700{\sim}900^{\circ}C$에서 '$A_2O_3$/Glass/$Al_2O_3$'구조의 glass infiltration 특성을 고찰하였다. 소성 후 수축율은 x-y축 0.2%, Z축 40%, 밑도 $3.8g/cm^3$, 유전율 6.8, 품질계수 552로 무수축 기판으로서의 적용 가능성을 확인하였다.

Keywords