Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Round Shape Data Acquisition Methods for Real-Time Ellipsometric Measurement

실시간 타원계측을 위한 초점형 환상(環狀) 측정 방법

  • 예상헌 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 곽윤근 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 김수현 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 조용재 (한국표준과학연구원 나노 바이오 융합 연구단) ;
  • 조현모 (한국표준과학연구원 나노 바이오 융합 연구단) ;
  • 제갈원 (한국표준과학연구원 나노 바이오 융합 연구단)
  • Published : 2007.02.01
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Abstract

Keywords