Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Development of measurement techniques for complex geometry in nanometer range

나노미터 영역의 복합형상 측정기술 개발

  • 김재완 (한국표준과학연구원 길이/시간그룹) ;
  • 김종안 (한국표준과학연구원 길이/시간그룹) ;
  • 강주식 (한국표준과학연구원 길이/시간그룹) ;
  • 엄태봉 (한국표준과학연구원 길이/시간그룹)
  • Published : 2007.07.01
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Abstract

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