미소 인장시험을 이용한 Bi-Te 열전박막의 기계적 물성 평가

  • 한승우 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
  • 이상주 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
  • 최현주 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
  • 김동호 (한국기계연구원 표면제어연구센터) ;
  • 김욱중 (한국기계연구원 에너지기계연구센터)
  • Published : 2007.05.10