Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2007.05a
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- Pages.35.2-35.2
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- 2007
Dry Etching of Poly Ethylene Terephthalae(PET) in $O_2/SF_6$ Plasmas
$O_2/SF_6$ 플라즈마를 이용한 Poly Ethylene Terephthalate(PET)의 건식 식각에 관한 연구
- Park, Yeon-Hyeon ;
- Ju, Yeong-U ;
- Kim, Jae-Gwon ;
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Baek, In-Gyu
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- Lee, Jin-Hui ;
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Lee, Je-Won
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- Jo, Gwan-Sik
- 박연현 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
- 주영우 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
- 김재권 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
-
백인규
(인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소)
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- 이진희 (인제대학교 나노공학부) ;
-
이제원
(인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소)
;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소)
- Published : 2007.05.10