Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2007.05a
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- Pages.32.2-32.2
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- 2007
[ $O_2/N_2$ ] Plasma Etching of Acrylic in a Multi RIE Electrodes System
다층 RIE Electodes를 이용한 아크릴의 $O_2/N_2$ Plasma Etching
- Kim, Jae-Gwon ;
- Park, Yeon-Hyeon ;
-
Baek, In-Gyu
;
- Ju, Yeong-U ;
- Kim, Ju-Hyeong ;
- Jo, Gwan-Sik ;
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Lee, Je-Won
- 김재권 (인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소) ;
- 박연현 (인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소) ;
-
백인규
(인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소)
;
- 주영우 (인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소) ;
- 김주형 (인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소) ;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소) ;
-
이제원
(인제대학교 나노공학부, 나노 메뉴팩처링 연구소)
- Published : 2007.05.10