Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2007.05a
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- Pages.26.2-26.2
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- 2007
밀폐된 Chamber 에서 DHF 세정 후 IPA Vapor를 이용한 매엽식 기판 건조
- Im, Jeong-Su (SEMES Co., LTD.) ;
- Gu, Gyo-Uk (SEMES Co., LTD.) ;
- Choe, Seung-Ju (SEMES Co., LTD.) ;
- Seong, Bo-Ram-Chan (SEMES Co., LTD.) ;
- Jo, Jung-Geun (SEMES Co., LTD.) ;
- Park, Jin-Gu
- Published : 2007.05.10