밀폐된 Chamber 에서 DHF 세정 후 IPA Vapor를 이용한 매엽식 기판 건조

• Im, Jeong-Su (SEMES Co., LTD.) ;
• Gu, Gyo-Uk (SEMES Co., LTD.) ;
• Choe, Seung-Ju (SEMES Co., LTD.) ;
• Seong, Bo-Ram-Chan (SEMES Co., LTD.) ;
• Jo, Jung-Geun (SEMES Co., LTD.) ;
• Park, Jin-Gu

• 임정수 ;
• 구교욱 ;
• 최승주 ;
• 성보람찬 ;
• 조중근 ;
• 박진구 (한양대학교 재료화학공학부)

• Published : 2007.05.10

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