Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Effect of Plasma Treatment to Surface of the Titanium Oxide Deposited by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition

  • 김웅선 (한양대학교 신소재 공학과) ;
  • 고명균 (한양대학교 신소재 공학과) ;
  • 김태섭 (한양대학교 신소재 공학과) ;
  • 박종완 (한양대학교 신소재 공학과)
  • Published : 2007.05.10
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Abstract

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