한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.655-656
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2007
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

355nm UV 레이저를 이용한 Su-8 포토레지스터 어블레이션에 관한 기초 연구

A study on the SU-8 Photoresist Ablation with 355nm UV Laser Processing

오재용 (부산대학교 ERC/NSDM) ;
신보성 (부산대학교 대학원)

Oh, J.Y. ;
Shin, B.S.

발행 : 2007.06.20

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