한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.355-356
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- 2007
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- 2005-8446(pISSN)
XY 스테이지의 고속 정밀 위치결정을 위한 입력성형명령 생성 기법에 관한 연구
A Study on Input Shaping Command Generation Method for High-Speed and Precise Positioning of XY Stage
- 발행 : 2007.06.20