한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
- /
- Pages.161-162
- /
- 2007
- /
- 2005-8446(pISSN)
전자빔 미세패턴 가공을 위한 진공용 회전테이블 개발
Development of a Vacuum-Compatible Rotation Table for Fine Pattern Machining using Electron beams
- Khim, G. ;
- Park, C.H. ;
- Song, C.K. ;
- Lee, H.
- 발행 : 2007.06.20