한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

반도체 세정공정용 퍼지미터의 안정화

Stabilization of Purge meter for WET Cleaners Process in Semiconductor Manufacturing

  • 김신호 (금오공과대학교 대학원) ;
  • 정선환 (금오공과대학교 기계공학부) ;
  • 최성대 (금오공과대학교 기계공학부) ;
  • 김도태 (경일대학교 기계자동차공학부)
  • 발행 : 2007.06.20
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