한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2007년도 제32회 학술대회 초록집
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- Pages.145-145
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- 2007
경사입사 $TiO_2$ 보호 층을 가지는 Mo/Si 다층 박막
- 발행 : 2007.02.06