Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2007.02a
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- Pages.130-130
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- 2007
Shallow Junction을 위한 Plasma Source Ion Implantation(PSII) 공정 연구
- Lee, Sang-Uk ;
- Kim, Jeong-Hui ;
- Kim, Hun ;
- Jeong, Jin-Yeol ;
- Ji, Jong-Yeol ;
- Choe, Jun-Yeong ;
- Lee, Yeong-Jong ;
- Han, Seung-Hui ;
- Kim, Gi-Man ;
- Lee, Won-Jun ;
- Na, Sa-Gyun
- 이상욱 ((주)에이디피엔지니어링) ;
- 김정희 ((주)에이디피엔지니어링) ;
- 김훈 ((주)에이디피엔지니어링) ;
- 정진열 ((주)에이디피엔지니어링) ;
- 지종열 ((주)에이디피엔지니어링) ;
- 최준영 ((주)에이디피엔지니어링) ;
- 이영종 ((주)에이디피엔지니어링) ;
- 한승희 (한국과학기술연구원) ;
- 김기만 (세종대학교) ;
- 이원준 (세종대학교) ;
- 나사균 (한밭대학교)
- Published : 2007.02.06
Abstract
Keywords