합금 타겟을 사용한 SOI 기판에서의 Ni-Silicide 연구

• 김지영 (인제대학교 나노공학과) ;
• 김초롱 (인제대학교 나노공학과) ;
• 임재영 (인제대학교 나노공학과) ;
• 류혁현 (인제대학교 나노공학과) ;
• 이원재 (충남대학교 전자공학과) ;
• 정순연 (충남대학교 전자공학과) ;
• 이희덕 (충남대학교 전자공학과) ;
• 김인겸 (실트론(주) 기술연구소) ;
• 강석준 (실트론(주) 기술연구소) ;
• 육형상 (실트론(주) 기술연구소)

• Kim, Ji-Yeong ;
• Kim, Cho-Rong ;
• Im, Jae-Yeong ;
• Ryu, Hyeok-Hyeon ;
• Lee, Won-Jae ;
• Jeong, Sun-Yeon ;
• Lee, Hui-Deok ;
• Kim, In-Gyeom ;
• Gang, Seok-Jun ;
• Yuk, Hyeong-Sang

• 발행 : 2007.02.06

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