Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

A Study on Nano-Tribology of Carbon Based Films Syntheized by Magnetron Sputtering

  • 박용섭 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 조형준 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 홍병유 (성균관대학교 정보통신공학부)
  • Published : 2007.02.06
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Abstract

Keywords