공기 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트의 RIE 건식 식각

• Lee, Je-Won ;
• Ju, Yeong-U ;
• Park, Yeon-Hyeon ;
• Kim, Jae-Gwon ;
• No, Ho-Seop ;
• Song, Han-Jeong ;
• Jo, Gwan-Sik

• 이제원 (인제대학교 나노공학부) ;
• 주영우 (인제대학교 나노공학부) ;
• 박연현 (인제대학교 나노공학부) ;
• 김재권 (인제대학교 나노공학부) ;
• 노호섭 (인제대학교 나노공학부) ;
• 송한정 (인제대학교 나노공학부) ;
• 조관식 (인제대학교 나노공학부)

• Published : 2007.02.06

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