Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2007.02a
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- Pages.92-92
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- 2007
공기 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트의 RIE 건식 식각
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Lee, Je-Won
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- Ju, Yeong-U ;
- Park, Yeon-Hyeon ;
- Kim, Jae-Gwon ;
- No, Ho-Seop ;
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Song, Han-Jeong
;
- Jo, Gwan-Sik
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이제원
(인제대학교 나노공학부) ;
- 주영우 (인제대학교 나노공학부) ;
- 박연현 (인제대학교 나노공학부) ;
- 김재권 (인제대학교 나노공학부) ;
- 노호섭 (인제대학교 나노공학부) ;
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송한정
(인제대학교 나노공학부) ;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부)
- Published : 2007.02.06
Abstract
Keywords