Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

정형화된 Pin-to-plate 방식의 Dielectric Barrier Discharge에 의해 발생된 대기압 Remote Plasma를 이용한 비정질 Si의 식각

  • 박재범 (성균관대학교 신소재 공학부) ;
  • 경세진 (성균관대학교 신소재 공학부) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재 공학부)
  • Published : 2007.02.06
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Abstract

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