Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Etching treatment of vertically aligned carbon nanotubes for the application to biosensor

바이오센서로의 응용을 위한 수직 배열된 탄소나노튜브의 식각처리

  • Jung, Seoung-Ho (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Choi, Eun-Chang (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Park, Yong-Seob (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) ;
  • Choi, Won-Seok (Department of Electrical Engineering, Hanbat University) ;
  • Hong, Byung-You (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University)
  • 정승호 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 최은창 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 박용섭 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 최원석 (한밭대학교 전기공학과) ;
  • 홍병유 (성균관대학교 정보통신공학부)
  • Published : 2007.11.01
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Abstract

탄소나노튜브(CNT)의 tip 부분에 존재하는 금속 촉매 입자들은 불순물로써 나노전자소자에 응용하는데 좋지 않은 영향을 미칠 수 있다. 또한, 바이오센서에서 target 바이오 물질과 반응하는 물질을 CNT에 고정시키기 위해서는 CNT-tip을 개방시키는 것이 중요하다. 본 연구에서는 성장된 CNT의 tip부분에 존재하는 금속 촉매 입자의 제거와 CNT-tip을 개방하기 위해 $HNO_3$의 농도 (20, 40, 60)와 etching 시간 (5, 10, 15, 20, 25 min)에 따라 최적의 조건을 찾는 실험을 하였다.

Keywords