Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2007.11a
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- Pages.296-297
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- 2007
Micro power of piezo cantilever With PZT thick films
PZT 후박을 적용한 piezo-cantilever 마이크로 발전 특성
- Kim, I.S. (KERI) ;
- Jeong, S.J. (KERI) ;
- Kim, M.S. (KERI) ;
- Song, J.S. (KERI) ;
- Lee, D.S. (KERI) ;
- Jeon, S.H. (Division of Materials Application)
- Published : 2007.11.01
Abstract
PMN-PZT 단층 및 다층 후막을 알루미나 기판위에 켄티레버 형태로 제작하여, 외부의 미소 진동에 의한 마이크로 발전 특성을 고찰하였다. 미소 변위에 의한 마이크로 발전 특성은 켄티레버의 무게(load), 진동수, 켄티레버의 길이 등에 밀접한 영향을 미치므로 이에 준한 요소를 고려하여 여러 가지 변수로 실험하였다. 연구 결과 서로 다른 소재의 기판과 발전체의 계면 분리 현상, 전극과 발전체의 분리 현상, 소결 온도 등이 소재 측면의 문제점으로 크게 대두되었으며,