Proceedings of the KAIS Fall Conference (한국산학기술학회:학술대회논문집)
- 2007.11a
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- Pages.140-143
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- 2007
A Study of Pressure Control system using Loadcell
로드셀을 이용한 압력 제어 시스템의 연구
- Jung, Ho-Seung (Dept of Semiconductor & Display, Korea University of Technology Education) ;
- Huh, Young-Jung (Dept of Mechatronics, Korea University of Technology Education) ;
- Cho, Dong-Hee (Secron Inc.)
- Published : 2007.11.22
Abstract
본 연구의 목적은 반도체 후공정 제조 시스템인 Screen Printer시스템에서의 프린팅 공정시 프린팅에 사용되는 Mesh Mask, Urethane Blade의 재질이 사용되는 반복횟수의 증가에 따라 재질의 변화에 의한 문제점과 프린팅 공정 파라미터인 Table 접촉거리, Squeegee 하강위치의 주변환경에 의한 변화를 보상하여 일정하게 프린팅이 될 수 있는 시스템을 구현 하는데 목적이 있으며, 이 논문은 서보모터를 구동하는 위치제어 시스템에 로드셀（Loadcell）을 이용하는 압력제어시스템을 연구하고 구현하고자 하였다.
Keywords