대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
- /
- Pages.1807-1808
- /
- 2007
광방사분광기와 신경망을 이용한 플라즈마 식각공정 모델링
Modeling of Plasma Etching by Using Neural Network and Optical Emission Spectroscopy
- Kwon, Min-Ji (Sejong University) ;
- Kim, Byung-Whan (Sejong University)
- 발행 : 2007.07.18