대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
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- Pages.1801-1802
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- 2007
시계열 신경망을 이용한 식각종말점 진단
Diagnosis of Etch Endpoint Using Time-Series Neural Network
- Kim, Min-Jae (Sejong University) ;
- Park, Min-Geun (Sejong University) ;
- Woo, Benjamin (Semi Sysco) ;
- Kim, Byung-Whan (Sejong University)
- 발행 : 2007.07.18