Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2007.07a
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- Pages.1548-1549
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- 2007
Growth of Silicon Nanowire using CVD
CVD를 이용한 실리콘 나노와이어 성장
- Chang, Jun-Hyoung (Dept. of Chemical and Biological Engineering, Korea Univ.) ;
- Yun, Dong-Wha (Dept. of Chemical and Biological Engineering, Korea Univ.)
- Published : 2007.07.18
Abstract
이 실험은 간단한 가열로(heating furnace)를 이용 thermal CVD(chemical Chemical Depositin) 방법을 사용하여, 촉매를 사용하지 않고 실리콘 나노와이어(Si nanowire)를 합성하는 방법에 대해서 연구한 것이다. 굴곡도(roughness)가 큰 알루미나((
Keywords