대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
- /
- Pages.1522-1523
- /
- 2007
MEMS기술에 의한 탐침용 소자의 제작
Fabrication of probing device by MEMS technology
- Lee, Keun-Woo (Dept. of Electrical Information Engineering, Soonchunhyang Univ) ;
- Kim, Chang-Kyo (Dept. of Electrical Information Engineering, Soonchunhyang Univ) ;
- Lee, Jae-Hong (NADIS Co. LTD.)
- 발행 : 2007.07.18
초록
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)기술과 니켈 전기도금 공정을 이용하여 수십 내지 수백개의 탐침소자를 갖는 프르브디바이스(probe device)를 제작하였다. 사용된 기판은
키워드