Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2007.07a
- /
- Pages.1339-1340
- /
- 2007
Electronic characteristics of nanowire-nanoparticle-based FETs
나노선-나노입자 결합에 따른 FETs 전기적 특성 고찰
- Kang, Jeong-Min (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
- Keem, Ki-Hyun (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
- Jeong, Dong-Young (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
- Yoon, Chang-Joon (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
- Yeom, Dong-Hyuk (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
- Kim, Sang-Sig (Department of Electrical Engineering, Korea University)
- 강정민 (고려대학교 전기전자전파공학과) ;
- 김기현 (고려대학교 전기전자전파공학과) ;
- 정동영 (고려대학교 전기전자전파공학과) ;
- 윤창준 (고려대학교 전기전자전파공학과) ;
- 염동혁 (고려대학교 전기전자전파공학과) ;
- 김상식 (고려대학교 전기전자전파공학과)
- Published : 2007.07.18
Abstract
본 연구에서는 이종 차원 나노선과 나노입자의 결합에 따른 단일 나노선 소자의 전기적 특성 및 메모리 효과를 연구하였다. 열증착법으로 성장 된 p 형 Si 나노선에 Atomic Layer Deposition (ALD) 방법으로 10nm의
Keywords