Proceedings of the IEEK Conference (대한전자공학회:학술대회논문집)
- 2006.06a
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- Pages.721-722
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- 2006
Intelligent Algorithm for Automatical Measuring FPD Thickness
지능화 알고리즘을 이용한 FPD용 박막 두께 자동 측정
- Moon, Chan-Woo (School of Electrical and Electronics Engineering Chung-Ang University) ;
- Choi, Woo-Kyung (School of Electrical and Electronics Engineering Chung-Ang University) ;
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Kim, Sung-Hyun
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Kim, Yong-Min
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- Jeon, Hong-Tae (School of Electrical and Electronics Engineering Chung-Ang University)
- 문찬우 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
- 최우경 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
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김성현
(동원대학 디지털정보전자과)
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김용민
(충청대학교 컴퓨터학부)
;
- 전홍태 (중앙대학교 전자전기공학부)
- Published : 2006.06.21
Abstract
FPD 산업의 폭발적인 성장과 함께 어떻게 하면 불량률을 낮출수 있는가에 생산업체의 관심이 지대하다. FPD공정에서 품질을 결정하는 여러 요인 가운데 박막 두께의 제어가 차지하는 비중이 크다. 논문에서는 광학적 방법인 광 간섭 두께 측정기를 이용하여 얻은 시료의 광학적 특성을 레퍼런스 데이터와 비교하는 과정을 통해 시료의 두께를 측정함으로써 불량여부를 판별한다.
Keywords