대한전자공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the IEEK Conference)
- 대한전자공학회 2006년도 하계종합학술대회
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- Pages.471-472
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- 2006
Metamorphic HEMT에서 low-k Benzocyclobutene (BCB)를 이용한 표면 passivation 비교 연구
Comparative study of surface passivation for Metamorphic HEMT using low-k Benzocyclobutene(BCB)
- 백용현 (동국대학교 밀리미터파 신기술 연구센터) ;
- 오정훈 (동국대학교 밀리미터파 신기술 연구센터) ;
- 한민 (동국대학교 밀리미터파 신기술 연구센터) ;
- 최석규 (동국대학교 밀리미터파 신기술 연구센터) ;
- 이복형 (동국대학교 밀리미터파 신기술 연구센터) ;
- 이성대 (동국대학교 밀리미터파 신기술 연구센터) ;
- 이진구 (동국대학교 밀리미터파 신기술 연구센터)
- Baek, Yong-Hyun (Millimeter-wave INnovation Technology Research Center (MINT) Dongguk University) ;
- Oh, Jung-Hun (Millimeter-wave INnovation Technology Research Center (MINT) Dongguk University) ;
- Han, Min (Millimeter-wave INnovation Technology Research Center (MINT) Dongguk University) ;
- Choi, Seok-Gyu (Millimeter-wave INnovation Technology Research Center (MINT) Dongguk University) ;
- Lee, Bok-Hyung (Millimeter-wave INnovation Technology Research Center (MINT) Dongguk University) ;
- Lee, Seong-Dae (Millimeter-wave INnovation Technology Research Center (MINT) Dongguk University) ;
- Lee, Jin-Koo (Millimeter-wave INnovation Technology Research Center (MINT) Dongguk University)
- 발행 : 2006.06.21
초록
The passivation technology is very important, because this technology can protect a device against the influence of ambient environment, and prevent the performance reduction. In this paper, we fabricated the
키워드