Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Magnetron (CFUBM) sputtering법으로 DC 바이어스에 따라 증착시킨 수소화된 비정질 탄소 (a-C:H) 박막의 열처리에 따른 tribological 특성 분석

  • 박용섭 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 조형준 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 이성욱 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 이태용 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 송준태 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 홍병유 (성균관대학교 정보통신공학부)
  • Published : 2006.08.01
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