한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

복층구조로 증착시킨 DLC 박막의 기계적 특성 분석

  • 조윤혜 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 최원석 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 박용섭 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 조형준 (성균관대학교 정보통신공학부) ;
  • 홍병유 (성균관대학교 정보통신공학부)
  • 발행 : 2006.08.01
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