Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

초고진공 분자선 에피성장 시스템의 제작 및 성능 연구

  • 김은도 (㈜알파플러스 기술연구소) ;
  • 손영호 (㈜알파플러스 기술연구소) ;
  • 엄기석 (위덕대학교 반도체전자공학부) ;
  • 황도원 (㈜알파플러스 기술연구소)
  • Published : 2006.08.01
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