Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

$Si_3N_4$ 마스크를 이용한 PZT nanodot 제작과 PFM을 이용한 특성 분석

  • 신형준 (서울대학교 물리학과 나노기억매체연구단) ;
  • 최재혁 (서울대학교 물리학과 나노기억매체연구단) ;
  • 양희준 (서울대학교 물리학과 나노기억매체연구단) ;
  • 박용대 (서울대학교 물리학과 나노기억매체연구단) ;
  • 강치중 (명지대학교 물리학과) ;
  • 국양 (서울대학교 물리학과 나노기억매체연구단)
  • Published : 2006.02.01
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Abstract

Keywords