Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Low-Angle Forward Reflected 중성빔식각을 이용한 Aspect-Ratio-Dependent Etching 현상 제거

  • 민경석 (성균관대학교 공과대학 신소재공학과) ;
  • 박병재 (성균관대학교 공과대학 신소재공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 공과대학 신소재공학과) ;
  • 김성진 (포항공과대학 전기공학과) ;
  • 이재구 (포항공과대학 전기공학과)
  • Published : 2006.02.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords