Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

EEDF를 통한 전자빔 플라즈마 특성 연구

  • 채수항 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 서상훈 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 장홍영 (한국과학기술원 물리학과)
  • Published : 2006.02.01
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