극자외선(EUV) 리소그래피의 빛샘 발생을 위한 플라스마 집속 장치의 제작 및 특성 진단

• Lee Su-Beom ;
• Mun Min-Ok ;
• O Pil-Yong ;
• Song Gi-Baek ;
• Im Jeong-Eun ;
• Lee Won-Ju ;
• Choe Eun-Ha

• 이수범 (광운대학교 전자물리학과 PDP 연구센터) ;
• 문민옥 (광운대학교 전자물리학과 PDP 연구센터) ;
• 오필용 (광운대학교 전자물리학과 PDP 연구센터) ;
• 송기백 (광운대학교 전자물리학과 PDP 연구센터) ;
• 임정은 (광운대학교 전자물리학과 PDP 연구센터) ;
• 이원주 (삼성 SDI) ;
• 최은하 (광운대학교 전자물리학과 PDP 연구센터)

• Published : 2006.02.01

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