Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

고압력(0.5Torr-10Torr)에서의 스퍼터 에칭을 위한 Self-bias 특성 조사

  • 김용훈 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 서상훈 (한국과학기술원 물리학과) ;
  • 장홍영 (한국과학기술원 물리학과)
  • Published : 2006.02.01
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