Energy loss function and inelastic scattering cross-section of ultrathin $HfO_2,\;Al_2O_3$ and Hf-Al-O films on Si(100)

  • 김화 (충북대학교 물리학과) ;
  • 강희재 (충북대학교 물리학과)
  • 발행 : 2006.02.01