원판형 분자 드래그펌프 회전자의 고정자 사이 간극 크기가 배기성능에 미치는 영향 대한 연구

  • 권명근 (성균관대학교 대학원 기계공학과) ;
  • 황영규 (성균관대학교 기계공학부)
  • Published : 2006.02.01