Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2006.02a
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Pages.56-56
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2006

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

반도체용 Precursor 증기압 측정장치개발

이지훈 (건국대학교 신소재공학과) ;
윤주영 (한국표준과학연구원) ;
성대진 (한국표준과학연구원) ;
문두경 (건국대학교 신소재공학과) ;
신용현 (한국표준과학연구원) ;
정광화 (한국표준과학연구원)

Published : 2006.02.01

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