Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2006.04a
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- Pages.128-128
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- 2006
플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 $SiO_xN_y$ 막의 flexible 평판 디스플레이에 적용하기 위한 확산 방지막으로의 효과
- Published : 2006.04.01
Abstract
Keywords