Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2006.04a
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- Pages.125-126
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- 2006
Study on the Selective Plasma Etching of $ZrO_x$ using $BCl_3/C_4F_8$ Gas Mixture
$BCl_3/C_4F_8$ 가스 조합을 이용한 $ZrO_x$ 박막의 선택적 플라즈마 식각에 관한 연구
- Published : 2006.04.01
Abstract
Keywords