Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2006.04a
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- Pages.112-113
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- 2006
Influence of positive bias voltage on the properties of ITO films by magnetron sputter type negative metal ion source
기판 인가 전압이 MSNIS 방식으로 증착된 ITO 박막 물성에 미치는 영향
- Jang Ho-Seong ;
- Choe Dae-Han ;
- Choe Bi-Gong ;
- Kim Yu-Seong ;
- Lee Jin-Hui ;
- Choe Jong-In ;
- Yu Yong-Ju ;
- Cheon Hui-Gon ;
- Kim Dae-Il
- 장호성 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 최대한 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 최비공 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 김유성 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 이진희 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 최종인 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 유용주 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 천희곤 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
- 김대일 (울산대학교 첨단소재공학과)
- Published : 2006.04.01
Abstract
Keywords