Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference (한국정보통신학회:학술대회논문집)
- 2006.05a
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- Pages.368-370
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- 2006
Improving the efficiency in discharge pumped excimer laser
방전여기 엑시머 레이저의 고효율화 방안
- Lee Young-Woo (Division of Information Electronics and Imaging Engineering, Mokwon University)
- 이영우 (목원대학교 정보전자영상공학부)
- Published : 2006.05.01
Abstract
자외선영역에서 발진하는 엑시머 레이저 장치의 가스 장수명화에 의한 고효율화 방안을 제안하였다. 가스수명에 대하여 불소