박막두께 예측을 위한 증착 공정 모델링에 관한 연구

Study on Evaporating Process Modeling for Estimation of Thin-film Thickness Distribution

  • 이응기 (공주대학교 기계자동차공학부) ;
  • 이동은 (공주대학교 대학원 기계공학과) ;
  • 김숙한 (공주대학교 대학원 기계공학과)
  • 발행 : 2006.05.01

초록

In order to design an evaporation system, geometric simulation of film thickness distribution profile is required. In this paper, a geometric modeling algorithm is introduced for process simulation of the evaporating process. The physical fact of the evaporating process is modeled mathematically. Based on the developed method, the thickness of the thin-film layer can be successfully controlled.

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