Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology (한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집)
- 2006.10a
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- Pages.126-131
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- 2006
가열처리 공전에 의한 유리재료의 열수축 현상에 대한 수치해석
- Gong, Jin-Hak ;
- Lee, Myeong-Gyu (Department of Materials Science & Engineering The Ohio State University) ;
- Jeong, Gwan-Su
- Published : 2006.10.12
Abstract
광학적으로 우수한 특성을 지닌 유리는 온도에 민감한 대표적 점탄성 재료로서 역학적 열적 거동에 대한 충분한 이해와 해석이 평판 영상장치 제조공정에서 불량의 원인을 제거하고 공정 최적화를 하는데 중요하다. 본 연구에서는 평판 영상장치 제조공정에서 발생하는 문제들 중 하나인 열수축 현상(열처리 공정 전후 유리의 치수가 변하는 현상)을 소다라임 유리에 대해서 전산모사 하였으며, 유리의 구성방정식으로 구조이완 모델을 이용하였다.
Keywords