Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2006.05a
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- Pages.101-102
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- 2006
CMP of BTO Thin Films using Mixed Abrasive slurry
연마제 첨가를 통한 BTO Film의 CMP
- Kim, Byeong-In ;
- Lee, Gi-Sang ;
- Park, Jeong-Gi ;
- Jeong, Chang-Su ;
- Gang, Yong-Cheol ;
- Cha, In-Su ;
- Jeong, Pan-Geom ;
- Sin, Seong-Heon ;
- Go, Pil-Ju ;
- Lee, U-Seon
- 김병인 (조선대학교) ;
- 이기상 (조선대학교) ;
- 박정기 (조선대학교) ;
- 정창수 (조선대학교) ;
- 강용철 (조선대학교) ;
- 차인수 (조선대학교) ;
- 정판검 (조선대학교 전기공학과) ;
- 신성헌 (조선대학교 전기공학과) ;
- 고필주 (조선대학교 전기공학과) ;
- 이우선 (조선대학교 전기공학과)
- Published : 2006.05.19
Abstract
BTO (